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产品用途
气体配比器主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境. 控制方式采用集成化模块控制 功能延伸性强 根据客户要求随意添加
该气体配比器可以外接3或多种气体,采用质子型流量计,气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏.
1.半导体制造行业中气体流量控制
2.各种真空镀膜设备
3.特种材料表面处理
4.气体燃烧控制
5.混和配气系统
6.泄漏探测系统
7.环境检测与分析设备
8.分析仪器的气体流量计量与控制
9.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所
概览
气体质量流量控制器(mfc)和气体质量流量计(mfm)用于对气体的质量流量进行 精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环 保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括： 集成电路工 艺设备，如外延炉、扩散炉、cvd、等离子刻蚀机、溅射台、离子注入机； 以及镀膜设备、 光纤熔炼设备、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及 其它分析仪器。
cs200-a,c,d 型 mfc/ mfm 是七星电子生产的数字型产品，为气体质量流量的控制、 测量提供了高准确度及高可靠性。该型产品可同时支持数字信号，0~5v 模拟信号，4~20ma 或 0~20ma 模拟信号，可以使用双电源(±8~±16 vdc)或单电源(+14~+28 vdc)。支持自动故障报警，多气体多量程等功能。标准开放的通讯协议为客户自行开发控制、采集软件 提供便利。提供功能强大的免费客户端上位机软件 digital mfc。cs200-c 与 cs200-d 产品所有与气体接触的表面均为不锈钢金属，其中 cs200-c 金属表面符合 semi 标准的要求。
cs200-a,c,d mfc 默认配置为：mac 地址：32；rs485 通信波特率：19200；控制方式：0~5v 电压控制。
更多细节请参考产品附带光盘中的“cs 系列 mfc 通讯协议”。
标定
cs200-a,c,d mfc/mfm 可以按照用户的要求来标定。如果用户没有说明工作情况等信息，
则按照标准状况标定。
1、标准状况
出口压力：大气压气体质量流量通常用标准状态下的体积流量来表示，质量流量单位为：
sccm：标准毫升/分钟slm：标准升/分钟标准状态：温度 0°c (273.15k) 气压：101325pa (760mm hg)
在标准状态下，气体的密度是一个常数，该密度乘以标准状态下的体积就是质量数，所以标准状态下的体积流量就等同于质量流量。mfc/mfm 的标准安装位置为水平安装，同时为客户提供垂直(进气口向上或向下)、平躺及其它位置的安装，为保证的测量精度，用户购买时应该说明设备的安装方式。
2、制造环境
cs200-a,c,d 型 mfc/ mfm 是在温度为 22±2°c的 100 级的净化间内组装，1000 级净化环境下标定及包装。
3、精度调节cs200-a,c,d 型 mfc/mfm 在制造完成后都要在相应的标定台上烤机 24 小时，然后进行精确标定。精度、动态响应、压力变化的稳定性等指标须经过两次检查,合格后方可出厂。
使用须知
尊敬的用户，感谢您购买本公司生产的 cs 系列气体质量流量控制器/质量流量计产品。本手册详细叙述了正确、安全使用该系列产品的必要事项。
产品使用者，请务必认真参阅本手册并理解后使用，在使用过程中，请注意带有标志的文字及注意事项中包含的所有内容。
对于未按照使用手册使用造成的财产损失或人身伤害，本公司有权不承担责任。本手册在您安装、维护及故障维修时必不可少，请妥善留存保管。
注意事项
下列注意事项请结合使用手册查看。未按照注意事项进行操作所产生的一切后果本公司不予承担。
a)请勿替换产品零部件或者改动产品
不要替换产品的任何零部件或者对仪器进行任何未授权的改动。在返厂进行重新标定或维修的时候必须保证安全标签完好无损。
b)请联络专业工作人员为您服务
使用时勿擅自更换零部件，任何技术支持都必须由本公司授权的专业技术人员来为您服 务。
c)使用危险气体时请特别注意
如果使用危险气体，请做好预防措施，条件允许请完全吹洗仪器。如果危险气体潮湿,须确保潮湿的危险气体不会和仪器以及密封材料产生化学反应。
d)吹洗仪器时特别注意
在从气路上拆卸仪器之前和安装仪器后都要对整个系统进行吹洗，用干燥气体吹洗通道内剩余气体的残渣。
e)请遵照合适的步骤吹洗
产品必须在通风保护罩下进行吹洗，并且操作人员必须带上手套进行保护。
f)请勿在爆炸性环境下使用本产品
为了避免产生爆炸，不要在爆炸性环境下使用本产品，除非本产品获得有效认证 。
g)请使用合适的接头并按照相关的紧固规程来操作
所有仪器的接头都必须和产品说明书上的型号相符，且与仪器所使用的接头相一致且与仪器所使用的接头相配套。拧紧接头的时候请按照产品操作指导说明书来操作。
h)请检查产品接头处是否漏气
请仔细的检查所有的零部件接口以确保在安装过后没有漏气。
i)请使产品在安全入口压力下工作
请勿使仪器的入口压力超出工作压力(请参阅产品说明书中的工作压力)
j)请使整个系统远离污染
系统在运行过程中，请勿使用含有污染物的气体。如气体中含有灰尘、污垢、纤维、玻璃碎片或者铁屑等。
k)请预热仪器后再使用
请预热后再使用，尤其是危险气体，更加应该注意。请使用关闭的阀以确保在预热过程中不会有错误的流量通过。
联系电话：0371-60308298
手机/微信：152 8682 6848
qq:760625767
联系人：李工
郑州科探仪器设备有限公司
邱女士
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